Standard Specifications to Govern the Contracts for the Supply and Installation of Nanofabrication and Microscopy Equipment and the Upgrades to Existing Nanofabrication Systems for INL

INL — International Iberian Nanotechnology Laboratory

The subject matter of this contract is the supply and installation of nanofabrication and microscopy equipment and the upgrade to existing INL nanofabrication systems listed below and detailed in Schedule V attached to these standard specifications (from now on referred to as ‘Specifications’). The equipment and upgrades to existing equipment listed in Schedule V are the lots that the tender comprises. Tenderers may bid for one or more lots. The subject matter of the contract, in all cases, does not include so-called refurbished scientific instruments and equipment.
This tender is comprised of one lot, as follows:
2 b) Mask Aligner for 200 mm diameter wafers
This purchase is funded by Micro&NanoFabs@PT: Rede de Infraestruturas de Investigação de Micro e Nanofabricação em Portugal, code: NORTE-01-0145-FEDER-022090.

Prazo de entrega

O prazo para a recepção das propostas era 2019-06-30. O concurso foi publicado em 2019-06-12.

Fornecedores

Os seguintes fornecedores são mencionados nas decisões de adjudicação ou noutros documentos de contratação:

• SUSS Microtech Lithography GMBH

Quem?

• INL — International Iberian Nanotechnology Laboratory

O quê?

• Equipamento laboratorial, óptico e de precisão (exc. óculos)

Onde?

• Norte › Cávado

Histórico de aquisições

Data	Documento
2019-06-12	Anúncio de concurso
2019-10-14	Anúncio de adjudicação

Anúncio de concurso (2019-06-12)
Objecto
Âmbito do concurso
Título: Equipamento laboratorial, óptico e de precisão (exc. óculos)
Breve descrição:

The subject matter of this contract is the supply and installation of nanofabrication and microscopy equipment and the upgrade to existing INL nanofabrication systems listed below and detailed in Schedule V attached to these standard specifications (from now on referred to as ‘Specifications’). The equipment and upgrades to existing equipment listed in Schedule V are the lots that the tender comprises. Tenderers may bid for one or more lots. The subject matter of the contract, in all cases, does not include so-called refurbished scientific instruments and equipment. This tender is comprised of one lot, as follows: 2 b) Mask Aligner for 200 mm diameter wafers This purchase is funded by Micro&NanoFabs@PT: Rede de Infraestruturas de Investigação de Micro e Nanofabricação em Portugal, code: NORTE-01-0145-FEDER-022090.

Metadados do anúncio
Idioma original: inglês 🗣️
Tipo de documento: Anúncio de concurso
Natureza do contrato: Fornecimentos
Regulamento: União Europeia
Vocabulário comum para os contratos públicos (CPV)
Código: Equipamento laboratorial, óptico e de precisão (exc. óculos) 📦
Código CPV adicional: Equipamento laboratorial, óptico e de precisão (exc. óculos) 📦
Local de actuação
Região NUTS: Cávado 🏙️

Procedimento
Tipo de procedimento: Concurso público
Tipo de proposta: Apresentação de uma proposta relativa a todos os lotes
Critérios de atribuição
Proposta economicamente mais vantajosa

Entidade adjudicante
Identidade
País: Portugal 🇵🇹
Tipo de autoridade adjudicante: Outros
Nome da autoridade adjudicante: INL — International Iberian Nanotechnology Laboratory
Endereço postal: Avenida Mestre José Veiga S/N
Código postal: 4715-330
Cidade postal: Braga
Contacto
Endereço Internet: http://www.inl.int 🌏
Correio electrónico: andre.teixeira@inl.int 📧
Telefone: +351 253140112 📞
URL dos documentos: https://in-tendhost.co.uk/inl/aspx/ProjectManage/78 🌏
URL de participação: https://in-tendhost.co.uk/inl/aspx/ProjectManage/78 🌏

Referência
Datas
Data de envio: 2019-06-12 📅
Prazo de apresentação: 2019-06-30 📅
Data de publicação: 2019-06-17 📅
Identificadores
Número do anúncio: 2019/S 114-279270
Número JO-S: 114

Objecto
Âmbito do concurso
Breve descrição:

This tender is comprised of one lot, as follows:

2 b) Mask Aligner for 200 mm diameter wafers

This purchase is funded by Micro&NanoFabs@PT: Rede de Infraestruturas de Investigação de Micro e Nanofabricação em Portugal, code: NORTE-01-0145-FEDER-022090.

Valor total estimado: 400 000 EUR 💰
Designação do lote: Lot No 2b — Mask Aligner for 200 mm Diameter Wafers
Número do lote: 2B
Breve descrição:

General requirements:

This tender concerns the supply of a mask aligner to be used with 200 mm diameter wafers.

Technical requirements:

The new mask aligner should comply with the following requirements:

— the mask aligner should be a semi-automatic (wafers loaded by the operator) or fully automatic tool (wafers loaded and unloaded from a cassette),

— the mask aligner must be able to handle 200 mm diameter Si wafers with thicknesses of 750μm,

— the mask aligner should be able to write on the full surface of the si wafers,

— the mask aligner should be capable of performing exposures in several different modes including hard contact, soft contact, proximity (with adjustable distance between mask and wafer in 1μm steps) and vacuum contact,

— the mask aligner should be able to write features with dimensions down to 2μm (including lines, circles, ellipses, squares and rectangles) without shape distortions on the full wafer,

— the mask aligner should be capable of automatically aligning the mask blank with respect to the wafer using alignment marks defined in previous lithography and pattern transfer steps,

— the mask aligner should be capable of aligning a mask blank with respect to alignment marks in a wafer placed either on the top side or on the bottom side of the wafer. I.e., the tool should be capable of performing both top side alignment and bottom side alignment,

— the overlay accuracy between 2 layers exposed in the same tool should be equal or better than 1μm on the full wafer,

— the mask aligner should be capable of using mask blanks of 9 inch x 9 inch made of quartz or soda-lime glass,

— for compatibility with the masks currently available at INL, the mask aligner should be capable of handling mask blanks of 8 inch x 8 inch made of quartz or soda-lime, even if the exposure will not be made on the full wafer surface in this case,

— the mask aligner optics should be capable of resolving features down to 1μm,

— besides conventional ocular lens, the mask aligner should have a screen (ideally larger than 17 inch) displaying the images captured by the optics.

The system should be capable of capturing pictures.

Valor estimado sem IVA: 400 000 EUR 💰
Duração: 8 meses
Nome do projeto ou programa financiado pela UE: This purchase is funded by Micro&NanoFabs@PT: Rede de Infraestruturas de Investigação de Micro e Nanofabricação em Portugal, code: NORTE-01-0145-FEDER-022090.

Procedimento
Base jurídica: 32014L0024
Procedimento acelerado:

Due to the duration of the project that fund this purchase, the expected delivery time of the equipment and also considering the fact that this tender is related to a lot which contract was not awarded.

Hora limite para recepção das propostas: 17:00
Línguas em que podem ser apresentadas as propostas ou os pedidos de participação: inglês 🗣️
Data de abertura das propostas: 2019-07-15 📅
Hora de abertura das propostas: 17:00

Entidade adjudicante
Identidade
Número de registo nacional: PT508633346
Contacto
Ponto de contacto: André Teixeira
Endereço Internet: www.inl.int 🌏
Endereço do perfil de comprador: https://in-tendhost.co.uk/inl/aspx/Home 🌏
Documentos URL: https://in-tendhost.co.uk/inl/aspx/ProjectManage/78 🌏

Informações complementares
Corpo de revisão
Nome: Director General of INL
Cidade postal: Braga
País: Portugal 🇵🇹
Fonte: OJS 2019/S 114-279270 (2019-06-12)

Anúncio de adjudicação (2019-10-14)
Objecto
Âmbito do concurso
Valor total do procedimento: 400 000 EUR 💰
Metadados do anúncio
Tipo de documento: Anúncio de adjudicação

Procedimento
Tipo de proposta: Não consta

Referência
Datas
Data de envio: 2019-10-14 📅
Data de publicação: 2019-10-17 📅
Identificadores
Número do anúncio: 2019/S 201-488179
Refere-se ao anúncio: 2019/S 114-279270
Número JO-S: 201

Objecto
Âmbito do concurso
Breve descrição:

Technical requirements

— the mask aligner should be a semi-automatic (wafers loaded by the operator) or fully automatic tool (wafers loaded and unloaded from a cassette).

— the mask aligner should be able to write on the full surface of the Si wafers,

— for compatibility with the masks currently available at INL, the mask aligner should be capable of handling mask blanks of 8 inch x,— inch made of quartz or soda-lime, even if the exposure will not be made on the full wafer surface in this case,

Procedimento
Critérios de atribuição
Critério de qualidade (nome): Specifications and technical quality of the tender
Critério de qualidade (ponderação): 30
Critério de qualidade (nome): Warranty, maintenance and service contracts
Critério de qualidade (ponderação): 15
Critério de qualidade (nome): Technical training
Critério de qualidade (ponderação): 5
Critério de qualidade (nome): References
Delivery schedule
Improvements
Preço (ponderação): 25

Adjudicação do contrato
Data de celebração do contrato: 2019-09-01 📅
Nome: SUSS Microtech Lithography GMBH
Cidade postal: Garching
País: Alemanha 🇩🇪
München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Valor total do procedimento: 380 000 EUR 💰
Informações sobre concursos
Número de propostas recebidas: 3
Fonte: OJS 2019/S 201-488179 (2019-10-14)

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